・減銅線前/後、電鍍後蝕刻前等關鍵製程掌握來握面銅厚度 ・自動化應用去除手持式人因或無垂直取點量測 ・微電阻技術搭配位置與接觸壓力控制回饋 ・量測準確度:± 3%(標準片) ・可量測化學銅:0.25um~12.7um ・可量測電鍍銅:2.5um~300um ・可結合刷工單、數據回饋與上傳