面銅厚量測技術

・減銅線前/後、電鍍後蝕刻前等關鍵製程掌握來握面銅厚度

・自動化應用去除手持式人因或無垂直取點量測

・微電阻技術搭配位置與接觸壓力控制回饋

・量測準確度:± 3%(標準片)

・可量測化學銅:0.25um~12.7um

・可量測電鍍銅:2.5um~300um

・可結合刷工單、數據回饋與上傳