蒸氣二流體清洗技術，實現高效環保的光阻剝離

因應光阻剝離與聚合物清洗製程需求，此設備採用 蒸氣二流體取代傳統胺類剝離藥劑， 可在完成光阻與聚合物去除的同時，減少化學藥液使用量。

透過 製程步驟整合、一次性清洗完成、 環保低污染設計 與 高效清洗能力， 可將傳統需多段處理的製程整合為快速清洗流程， 協助客戶降低製程成本並提升清洗穩定性。