晶圓來料分選機

Wafer Incoming Sorting Solution

晶圓來料分選,提升製程前段檢測與轉換效率

因應半導體晶圓來料分選、辨識與轉換需求,此設備整合 8吋 / 12吋共用平台、晶圓尋邊、晶圓 ID 辨識與目檢模組, 可協助客戶完成來料確認、分選檢測與載具轉換作業。

透過 Semi-F47 穩壓系統OCR / BCR 交互確認SECS / GEM 通訊RFID 功能, 確保晶圓 ID 與標籤資訊一致,提升作業效率並強化半導體製程品質控管。

8吋 / 12吋共用 晶圓 ID 辨識 來料分選檢測 OCR / BCR 確認 SEMI-F47 穩壓 RFID 功能