半導體載具量測，建立完整品質履歷

因應半導體載具高精度檢測與製程品質管理需求，此設備提供 光學量測、外觀檢測與 AI 瑕疵判定， 協助客戶掌握載具狀態並提升檢測一致性。

透過 全方位檢測、OHT 自動上下料、 FOUP 360° 旋轉檢測 與 品質履歷記錄， 提供從尺寸量測、缺陷檢出到健康管理的一站式自動化檢測解決方案。